在PVD真空鍍膜過(guò)程中，表面的清潔處理十分重要，直接影響產(chǎn)品的電鍍質(zhì)量。進(jìn)鍍膜室之前必須經(jīng)過(guò)認真的鍍前清洗處理，表面污染來(lái)自工件的加工、輸送，在包裝過(guò)程中附著(zhù)的各種灰塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗漬等，為避免加工時(shí)引起的不良反應，在PVD真空鍍膜加工過(guò)程中，廠(chǎng)家一般可以通過(guò)去油或化學(xué)清洗的方法去除。

  對于已清洗過(guò)、不能存放于大氣環(huán)境的潔凈表面，應采用密封容器或保潔箱儲存，減少塵垢。在新氧化鋁容器中儲存玻璃底板，可以將對烴類(lèi)蒸汽的吸附降到Z低。這樣的容器更傾向于吸附烴類(lèi)。對于高不穩定性、對水汽敏感的真空鍍膜加工，一般應儲存在真空干燥箱中。

  采用PVD真空鍍膜處理,清除鍍膜室內的塵埃，設置潔凈度高的工作間，保持室內高度清潔，是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求。在空氣濕度大的地方，除鍍前要對基片、真空室各部件仔細清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。為了防止油進(jìn)入真空室，應注意油擴散泵返油，對高熱能的擴散泵必須采取擋油措施。